Modyfikacja plazmowa powłok DLC przy wykorzystaniu plazmy sześciofluorku siarki oraz różnych materiałów masek
Plasma modification of DLC coatings with use of sulphur hexafluoride and different mask materials
Streszczenie
W pracy przestawiono właściwości powierzchni powłok węglowych wytworzonych na podłożu krzemowym, poddanych trawieniu przez siatkę plazmą szcześciofluroku siarki (SF6), przy zmiennych czasach trawienia. Proces nanoszenia oraz plazmowego trawienia powłok przeprowadzono w reaktorze RF PACVD/MS, w Instytucie Inżynierii Materiałowej Politechniki Łódzkiej. Określono dla tych powłok: strukturę, głębokość trawienia, rozwinięcie powierzchni, skład chemiczny oraz właściwości fizykochemiczne. Przeprowadzona analiza obrazu w programie ImageJ oraz zestawienie wyników badań w tabele i wykresy, pozwoliły na sprecyzowanie wpływu wybranej metody trawienia powłok węglowych na skład chemiczny oraz morfologię i topografię powierzchni tychże powłok.
Słowa kluczowe: powłoka węglowa DLC, trawienie plazmowe, SF6, RF PACVD, analiza obrazu.
Abstract
brak